シュルンベルジェ社EBプローバ,FIB利用法講習会の案内

最終更新 1997年10月1日

シュルンベルジェ社EBプローバ, FIB利用法講習会

開催場所は、 東京大学 工学部１０号館４階ワークステーション室、 工学部１４号館 ５階５２２号室（電器系大セミナー室）および同館４階４２５号室（テスター室）とし、 講師はシュルンベルジェ社から派遣されるトレーナとなっております。

項目開催日定員講習内容および受講資格
EBプローバ
受付中		 10/3010 原則的として9月1,2にロジックテスター講習会を受講された方を対象と致します
FIB
受付中		 10/3110 FIBによる回路修正を希望される方（EBプローバ講習の受講が望ましい）

本講習会は、 VDECの設備であるEBテスターおよびFIBの取り扱いのためのものです。EBテス ターは非接触で配線の電位を測定することのできる装置で、集積回路中の信号解析に、 また、FIBはGaイオンを照射することにより、配線の切断および白金蒸着による配線接続、 絶縁膜の除去を行う装置で、配線の修正に役立つものです。FIBについては電気信 号は必要ないため、単独での使用も可能ですが、EBテスター利用の際は、集積回路に 信号を与えるため、9月1,2日に講習会を開催したVDECロジックテスタ(ITS9000EXa)用ツール ASAPの使用法をあらかじめ知っておく必要があります。いずれも故障解析および修正 に大いに役立ちますので、どうぞご利用ください。
日 時間 内容 場所
10月30日(木) 午前 EB講習
ZX(EBの機種名)の基本構成		工学部１０号館４階
午後 ZX(EBの機種名)操作方法講習、デモ工学部１４号館４階４２５号室
10月31日(金) 午前 FIB講習
P2X(FIBの機種名)の基本構成		工学部１４号館５階５２２号室
午前 操作方法講習、デモ工学部１４号館４階４２５号室

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