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寄生パラメー タ抽出

ここで紹介する寄生パラメータの抽出では２層メタルを対象としています。抽 出するパラメータは以下に示す通りです



• 寄生トランジスタ

  1. n型トランジスタ（nfet）
     
  2. p型トランジスタ（pfet）
     
     

• 寄生抵抗

  1. メタル１、２をつなぐスルーホールの抵抗
     
  2. メタルと拡散をつなぐコンタクトーホールの抵抗
     
  3. ポリシリコン（ゲート）とメタルをつなぐコンタクトーホールの抵抗
     
     

• 寄生容量

  1. ポリシリコンゲート，基盤間の結合容量
     
  2. ポリシリコンゲート，拡散間の結合容量
     
  3. メタル，基盤間の結合容量
     
  4. メタル，拡散間の結合容量
     
  5. メタル，ポリシリコンゲート間の結合容量
     
  6. メタル１、２間の結合容量
     
     
  手順へ

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  寄生パラメータ抽出の手順

  1. 寄生パラメータ抽出に必要なものは
     
     1. テクノロジファイル
        
     2. ストリームデータ（GDSIIフォーマット）
        
     3. 抽出用のルールファイル
        
        
  2. Cadenseの設定ファイルをsourceしてから，icfbを起動します
     
     

     %>icfb &

     
     ウインドウが二つ立ち上がりますが小さい方(下図)だけを使います
     
     
     
     
  3. ストリームデータを読み込みます [file --> import --> stream]
     Top Cell Nameを指定しない時は，すべてのセルがストリームインされます
     
     
     
     正しく読み 込まれたら、指定したディレクトリにセルのレイアウトデータが展開されます
     
     
  4. セルのレイアウトをオープンします [file --> open]
     
     
     
     レイアウト図のビューアー が立ち上がります
     
     
  5. 寄生パラメータの抽出を行ないます
     レイアウトビューア中で [verify --> extract] と入力します
     
     
     
     パラメータ抽出が実行され るはずです
     
     
  6. シミュレーション用のツールバーを表示させます
     レイアウトビューア で[file --> simulation --> other] と入力します
     
     
  7. ネットリスト生成（初期設定）[simulation --> initialize]
     ここでは，シミュレーション用のワークディレクトリを指定 するだけです
     
     
     
     
  8. ネットリスト生成（コマンド実行）[simulation --> netlist/simulate]
     
     
     
     寄生抵抗，容量，トランジ スタの接続関係を記述したネットリストが生成されます．
  開発フローへ

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  Extraction

Edited by Tohru Ishihara