アナログ高周波テストシステム
設備１：光アクセス式時間領域サブテラヘルツ高速波形観測装置設備２：光式テラヘルツ領域周波数分解解析装置
設備３：サブテラヘルツデバイス電気特性評価装置
設備４：サブテラヘルツデバイス測定用プロービング装置
設備５：電子アクセス式時間領域高速波形観測装置
設備６：ジッター注入耐性評価装置
設備７：ネットワーク・アナライザー
設備８：スペクトラム・アナライザー
設備９：シグナル・ジェネレータ
設備１０：サンプリング・オシロスコープ
設備１：光アクセス式時間領域サブテラヘルツ高速波形観測装置
備考：独国Menlo Systems社製 TERA-K8-SP-1（SYNC100-SP-1とRRE-SYNCRO-SP-1付）
写真：
スペック：
| スペクトルレンジ | >3 THz |
| ダイナミックレンジ | >60 dB (typical >65 dB) |
| トータルスキャンレンジ | >300 ps |
| THz 周波数分解能 | <3 GHz |
| スキャンモード | rapid / step scan |
| 波長 | 780 nm |
| トータル平均出力パワー | >65 mW |
| 繰返し率 | 100 MHz |
| パルス幅 | 100 - 120 fs |
設備２：光式テラヘルツ領域周波数分解解析装置
備考：日本分光株式会社製 FARIS-1J
写真：
スペック：
| 測定波数範囲 | 650 〜 2 cm-1 |
| 分解 | 0.25 〜 16 cm-1 |
| 干渉計 | 45°入射マイケルソン干渉計 |
| ビームスプリッタ | マイラーフィルム B/S、ワイヤーグリッド B/S |
| 光源 | 水冷式高圧水銀光源 |
| 検出器 | PE 窓 DTGS、ボロメータ |
設備３：サブテラヘルツデバイス電気特性評価装置
内訳：サブテラヘルツ信号発生器
サブテラヘルツ周波数分解解析装置
備考：Agilent Technologies製S05MS-AG(140-220GH)、S08MS-AG(90-140GHz)とS12MS-AG(60-90GHz)ミリ波信号源モジュール
Agilent Technologies製E5061B ENAシリーズ・ネットワーク・アナライザとミキ サー
写真：
E5061B ENAシリーズ・ネットワーク・アナライザとミキサーと信号源モジュール
ミキサーと信号源モジュール
E5061B ENAスペック：
| 5 Hz〜3 GHz |
| 50 Ω Sパラメータ・テスト・セット |
| ゲイン・フェーズ・テスト・ポート（1 MΩ/50 Ω入力） |
| DCバイアス信号源 |
| インピーダンス解析機能 |
設備４：サブテラヘルツデバイス測定用プロービング装置
内訳：サブテラヘルツデバイス測定用プローブステーション 一式
プローバ・校正系アタッチメントシステム 一式
備考：Cascade Microtech社製プローブステーション MPS150
写真：
サブテラヘルツデバイス測定用プローブステーション
プローバ・校正系アタッチメントシステム
Chuck Stageスペック：
| Travel | 155 mm x 155 mm (6 in. x 6 in.) |
| Resolution | 5 μm |
| Planarity over 150 mm (6 inch) | < 10 μm |
| Load stroke, Y axis | 90 mm |
| Z height adjustment range | 10 mm |
| Z contact / separation / load stroke | 0-3 mm adjustable |
| Theta travel (standard) | 360° |
| Theta travel (fine) | ± 8° |
| Theta resolution | 7.5 x 10-3 gradient |
| Travel range | 50 mm x 50 mm (2 in. x 2 in.) / 150 mm x 100 mm (6 in. x 4 in) |
| Resolution | ≦ 5 μm (0.2 mils) |
| Scope lift | Manual, tilt-back or linear pneumatic |
設備５：電子アクセス式時間領域高速波形観測装置
備考：Agilent Technologies製Infiniium 90000 Q-series oscilloscopes DSOX93304Q
写真：
スペック：
| チャンネル数 | ４チャンネル |
| アナログ帯域幅 | 32GHz(Typical: 33GHz) |
| 最高サンプリング | 80Gサンプル/s（４チャンネル同時使用時） |
| メモリ長 | 1Gポイント/チャンネル |
| 最小振幅レンジ | 1mV/div |
| 最大振幅レンジ | 1V/div |
| 振幅分解能 | 8bit、アベレージング機能により12bit |
| RMSノイズフロア | 0.6mV(rms)@10mV/div |
| 最小時間レンジ | 2ps/div |
| 最大時間レンジ | 20s/div |
設備６：ジッター注入耐性評価装置
備考：Agilent Technologies製 N4903B、N4876A、N4877A
写真：
スペック：
| データ・レートが150 Mb/s〜7 Gb/sまたは〜12.5 Gb/sまでのパターン・ジェネレータとエラー・ ディテクタオプションで、パターン・ジェネレータ用に14.2 Gbまでデータレートの拡張が可能 |
| N4876A および N4877AのMUX, De-MUXにより、28.4Gbpsまでの拡張が可能 |
| ＞0.5 UIの校正済みで規格に準拠した内蔵ジッタ注入機能：RJ、RJ-LF、RJ-HF、PJ1、PJ2、 SJ、BUJ、ISI、正弦干渉波、三角波、任意波形SSC、残留SSC |
| 優れた信号性能と感度、早い測定スピード |
| 内蔵クロック・データ・リカバリ機能（調整可能で規格に準拠したループ帯域幅） |
| フォワード・クロック・デバイス用の、デューティ・サイクルが可変のハーフレート・クロック |
| BER、BERTスキャン（バスタブカーブ測定）、RJ/DJ分離を含むTJ、アイ・ダイアグラム、アイ・ マスク、BER等高線、自動ジッタ耐力、パターン捕捉、コード化／リタイムドされたデータ・スト ームのシンボル・エラー・レート（SER） |
| 2個の調整可能なデータ出力（独立PRBS／60ブロック・パターン・シーケンサ機能付）すべて のオプションが後付けでき、N4903Aからのアップグレードも可能です。 |
設備７：ネットワーク・アナライザー
備考：Agilent Technologies製 N5247A
写真：
スペック：
| 10 MHz〜67 GHz |
| 2ポートまたは4ポート、2つの信号源を内蔵 |
| 4ポート110 GHzシングル掃引ソリューションを実現 |
| 110 dBのシステム・ダイナミック・レンジ、100,001ポイント、200チャネル、15 MHzのIF帯域幅 |
| ハイパワー出力（67 GHzで＋10 dBm）、広いパワー掃引範囲（40 dB） |
| 0.1dBレシーバ圧縮点：+11dBm(67GHz)を実現したリニアなレシーバ |
設備８：スペクトラム・アナライザー
備考：Agilent Technologies製 N9030A
写真：
スペック：
| 3 Hz〜3.6/8.4/13.6/26.5/43/44/50 GHz。最高50 GHzの内蔵プリアンプ・オプション |
| 10 MHz（標準）、25/40/160 MHzの解析帯域幅 |
| Keysightのスマート・ミキサで110 GHzまで、他メーカのミキサでTHzまで拡張可能 |
| アップグレード可能なリアルタイム・スペクトラム・アナライザ機能、最小3.57 usの短い持続時間の信号を100 ％の確率で捕捉可能 |
設備９：シグナル・ジェネレータ
備考：Agilent Technologies製 E8257D
写真：
スペック：
| 100 kHz〜20、31.8、40、50、67 GHz、70 GHzまで動作可能（.001 Hz分解能）、10 MHz〜20 GHz（オプション521のみ） |
| 75、90、110、140、170、220、325、500 GHzに拡張可能：ミリ波信号源モジュール |
| 20 GHzで＋26 dBm、40 GHzで＋17 dBm、67 GHzで＋14 dBmの出力パワー、オプション521では＞＋30 dBm（代表値） |
| 業界最高のSSB位相雑音：オプションUNX |
設備１０：サンプリング・オシロスコープ
備考：Agilent Technologies製 86100D
写真：
スペック：
| 内蔵のディエンベディング／エンベディング／イコライゼーション機能 |
| ジッタ・スペクトラムとフェーズ・ロック・ループ（PLL）解析 |
| PRBS31などロング・パターンのジッタ解析 |
| The MathWorksのMATLABソフトウェアを使用したカスタム測定と解析 |
| DCA-XまたはPCで使用するための包括的で高速かつ正確なコンプライアンス／デバッグ・アプリケーション |
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