VDEC 所有 EB描画装置 を利用して得られた成果リスト


東京大学大学院工学系研究科機械情報工学専攻下山研究室

Last Updated: 2000/05/30

Author(s) Title Journal Page(s) Date
K. Hoshino, F. Mura and I. Shimoyama `` A Micro-Sized Visual Sensor Based on a Fly's Compound Eye with a Scanning Retina '' Proceedings of IEEE MEMS' 99 pp.153-158 1999, Jan.
N. Miki and I. Shimoyama ``Flight Performance of Micro-wings Rotating in an Alternating Magnetic Field '' Proceedings of IEEE MEMS' 99 pp.429-434 1999, Jan.
Shoji Takeuchi and Isao Shimoyama ``Three Dimensional SMA Microelectrodes with Clipping Structure for Insect Neural Recording '' Proceedings of IEEE MEMS' 99 pp.464-469 1999, Jan.
Y. Ozaki, T. Yasuda and I. Shimoyama `` An Air Flow Sensor Modeled on Wind Receptor Hairs of Insects '' Proceedings of IEEE MEMS2000 pp.531-536 2000, Jan.
N. Miki and I. Shimoyama `` A Micro-Flight Mechanism with Rotational Wings '' Proceedings of IEEE MEMS2000 pp.158-163 2000, Jan.
K. Hoshino, F. Mura and I. Shimoyama `` A ONE-CHIP SCANNING RETINA WITH AN INTEGRATED MICRO-MECHANICAL SCANNING ACTUATOR FOR A COMPOUND EYE VISUAL SENSOR '' Proceedings of IEEE MEMS2000 pp.721-726 2000, Jan.
Toru Nakakubo and Isao Shimoyama ``Three-dimensional micro self-assembly using bridging flocculation'' Transducers' 99 pp. 1166-1169 1999, Jun.
Toru Nakakubo and Isao Shimoyama ``Three-dimensional micro self-assembly using bridging flocculation'' Sensors and Actuators A, vol. 83 pp. 161-166 2000, May.
Shoji Takeuchi and Isao Shimoyama ``A Three-Dimensional Shape Memory Alloy Microelectrode with Clipping Structure for Insect Neural Recording'' Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 9, no. 1 pp. 24-31 2000, Mar.
K. Hoshino, F. Mura and I. Shimoyama ``Design and Performance of a Micro-Sized Biomorphic Compound Eye with a Scanning Retina'' Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 9, no. 1 pp. 32-37 2000, Mar.
竹内昌治,下山勲 昆虫の神経信号計測のための形状記憶合金薄膜を用いた微小電極 電気学会誌, 119巻, 12号 pp.641-647 1999年12月.
N. Miki and I. Shimoyama `` Magnetic Rotational Micro-wings Applicable to Microrobots'' Proceedings of IEEE/RSJ IROS' 99 pp. 721-726 1999, Oct.
Nobuyuki Futai, Takashi Yasuda, Masayuki Inaba, Isao Shimoyama, and Hirochika Inoue ``A Soft Tactile Sensor with Films of LC Resonance Traps'' Proceedings of RSJ ICAR' 99 pp.149-154 1999, Oct.

東京大学生産技術研究所藤田博之研究室

Last Updated: 2000/06/30

Author(s) Title Journal Page(s) Date
Agnes Tixier,Yoshio Mita,Satoshi Oshima, Jean-PhilippeGouy,Hiroyuki Fujita ``3-D Microsystem Packaging For Interconnecting Electrical, Optical And Mechanical Microdevices To The External World'' IEEE International Conference on MicroElectroMechanical Systems (MEMS 2000), Miyazaki Japan - 2000.01
Yoshio Mita, Agnes Tixier, Satoshi Oshima, Jean-PhilippeGouy and Hiroyuki Fujita ``Embedded-Mask-Methods for mm-scale multi-layer vertical/slanted Si structures'' IEEE International Conference on MicroElectroMechanical Systems (MEMS 2000), Miyazaki, Japan - 2000.01
S.Konishi, Y.Mita, I.Kohlbechker, H.Fujita ``Autonomous Distributed System for Cooperative Micromanipulation in Distributed Manipulation'' ed.K.Boehringer, H.Choset, Kluwer Academic Pblc, Boston - 2000.01
大島聡, 三田吉郎, Tixier Agnes, Gouy Jean-Phillippe, 藤田博之 電気的, 機械的, 光学的デバイスのアセンブリを目指したマイクロコネクタの製作と評価 電気学会研究会資料マイクロマシン研究会,MM-00-1〜8 pp.19-24 2000.02
角嶋邦之, 三田信, 橋口原, 藤田博之 Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作 電気学会研究会資料マイクロマシン研究会, MM-00-1〜8 pp.41-44 2000.02
三田吉郎, 年吉洋, Agnes Tixier, 大島聡, Jean-Phillippe Gouy, 藤田博之 多機能マイクロマシンのチップレベル実装技術 マイクロセンサ・マイクロマシンの工業生産プロセスとパッケージ(次世代センサ協議会第28回研究会) pp.49-50 2000.02
B. Le Pioufle, P. Surbled, H. Nagai, Y. Murakami, K.S. Chun, E. Tamiya, H. Fujita ``Living cells captured on a bio-microsystem devoted to DNA injection'' Materials science & engineering - 2000.
Kyoseok Chun, Gen Hashiguchi, Hiroshi Toshiyoshi, Hiroyuki Fujita ``Fabrication of array of hollow microcapillaries used forinjection of genetic materials into animal/plant cells'' J. Appl., Phys. Vol.38 - pp.L279-281
大島聡, 三田吉郎, Tixier Agnes,Gouy Jean-Phillippe 高異方性エッチングで作製したシリコンシャドウマスクによる三次元構造へのパターニングと精度の評価 平成12年電気学会全国大会講演論文集 3巻 pp.1111-1112 2000.3.21-24
角嶋邦之, 三田信, 橋口原, 藤田博之 ナノ領域計測用Siツインプローブの製作 平成12年電気学会全国大会講演論文集3巻 p.1114 2000.3.21-24
天坂洋一, 三田信, 小林大, 藤田博之 静電インパクト機構を用いたマイクロアクチュエータ 平成12年電気学会全国大会講演論文集 3巻 pp.1117-1118 2000.3.21-24
山下幸一, 藤田博之, 年吉洋 SOIウエハによる音響の周波数分析センサの製作と測定 平成12年電気学会全国大会講演論文集 3巻 pp.1125 2000.3.21-24
E. Lebrasseur, t. Bourouina, J-B. Pourciel, M. Ozaki, T. Masuzawa, H. Fujita ``Resonant-type Micro-probe for Vertical Profiler'' Modeling and Simulation of Microsystems pp.166-169 2000.3.27-29
Yoshio MITA, Andreas KAISER, Patrik GARDA, Bruno STEFANELLI and Hiroyuki FUJITA ``Sensor-Microactuator Collocated MEMS for Fully-Integrated Microsystems'' IPEC-Tokyo 2000 Proceedings,Keio Plaza Hotel, Shinjuku, Tokyo, Japan vol.3 - pp.1422-1427
三田吉郎, 年吉洋, Agnes Tixier, 大島聡, Jean Philippe Gouy, 藤田博之 多機能マイクロマシンのチップレベル実装技術 マイクロマシンの実用化, センサ・アクチュエータ・マイクロマシン・ウィーク2000総合シンポジウムSession 3 pp.19-26 2000.4.27
P. Helin, M. Mita and H. Fujita ``Self-aligned Mirror and V-grooves in free-space micromachined optical switches'' Electronics Letters Vol. 36 No. 6 pp. 563-564 2000. 3. 16
Kuniyuki Kakushima, Makoto Mita, Gen Hashiguchi, Hiroyuki Fujita, Jyunji Endo, Yasuo Wada ``Fabrication of Twin Nano Probes for Nano Scale Measurement'' Technical Digest of THE 17TH SENSOR SYMPOSIUM 2000, The Institute of Electrical Engineers of Japan pp.427-431 2000.5
H.Toshiyoshi, Y.Mita, M.Ogawa, H.Fujita ``Chip Level Three-Dimensional Assembling of Microsystems'' PROCEEDINGS OF SPIE - Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS - 1999.3
三田信, 三田吉郎, 年吉洋, 藤田博之 遅延マスク法によるシリコンの3次元バルクマイクロ構造 電気学会論文誌E, Trans.IEEE of Japan vol.119-E No.5 pp.310-311 1999.5
H.Kawakatsu,H.Toshiyoshi,D.Saya,H.Fujita ``A Silicon Based Nanometric Oscillator for Scanning Force Microcopy Operating in the 100MHz Range'' Japanese Journal of Applied Physics Vol.38 No.6B,Part1 pp.3962-3965 1999.6
Hiroshi Toshiyoshi・Yoshio Mita・ Minoru Ogawa・Hiroyuki Fujita ``SILICON MICRO MOTHERBOARDS FOR THREE-DIMENSIONAL ASSEMBLING OF MICRO SYSTEMS'' Trans.IEEE vol.118-E No.10 pp.444-448 1998.10

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Date created: Fri Jun 30 17:14:31 JST 2000