回路修正システム
設備名：収束イオンビーム装置
備考：アメリカ FEI社製 V400 ACE
写真：
スペック：
| イオンカラム | Tomahawk、Ga液体金属 |
| Acc.電圧 | 0.5 kV - 30 kV |
| ビーム電流 | 1.1 pA - 65 nA |
| 画像分解能 | 4.5 nm |
| ステージ | 5軸電動ユーセントリック |
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回路修正システム
設備名：収束イオンビーム装置
備考：アメリカ FEI社製 V400 ACE
写真：
スペック：参考資料
イオンカラム Tomahawk、Ga液体金属 Acc.電圧 0.5 kV - 30 kV ビーム電流 1.1 pA - 65 nA 画像分解能 4.5 nm ステージ 5軸電動ユーセントリック
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