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| 総合精度 | 5um |
|---|---|
| 適合ウエーハサイズ | Φ4”Φ5”Φ6”Φ8” |
| XY各軸プローブエリア | ±120mm |
| XY各軸速度 | 200mm／sec |
| Z軸ストローク | 34mm |
| Z軸速度 | 35ms/0．5mmストローク |
| θ軸回転角度 | ±5° |
| ウェーハのアラインメント | CCD ITVカメラ方式；パターンマッチング法にて行う |
| ローダ容量 | 1カセット25枚ウェーハ |
| ウェーハの搬送方式 | アーム搬送 裏面吸着 |
| ニードルクリーニング方式 | ステージ式 |
| ロジックテスター及びデジダルアナライザーとの接続 | 可能 |
| GP-IBとの接続I/F | 本体に含む |
| 液晶ティスプレー及びタッチパネル | 10インチカラーディスプレイにてタッチ操作 |
| ステージヒートアップ機構 | エアークール |
| 温度設定範囲 | 15℃〜200℃ |
| 繰り返し精度 | 0.5℃以下 |
| 温度設定単位 | 1℃ |
| 温度制御 | 25℃から160℃：20分以内 |
| 自動針合わせ機構 | 付き |
| 自動針高さ合わせ機構 | 付き |
| テスター用カード及び同軸プローブヘッド | 本体に含む |
| 常温仕様のΦ341mmロジックテスター用プローブカード基板 | 1式付属 |
| 常温仕様の6ピンプローブカード | 1式付属 |
| 200℃で対応可能なデジタルアナライザー用同軸プローブへッド | 6個 |
| 接続ケーブルSMA→BNC、SMA→トライアキシャル変換コネクタ | 付属 |
| 真空ポソプ装置及びエアークールコンプレッサー | 付属 |
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