2021 GenISys BEAMER ハンズオンセミナー オンライン Past D2T Special Seminar ONLINE
7月 29日（木） 午後3時 - 2時間程度
Zoom オンライン
言語: 日本語を予定
募集人数：若干名（事前予約制）
募集期間： ～7月22日までですが、定員に達した場合は事前に締め切らせていただきます。
申し込み先：下記問い合わせ先までメールでお申し込みください。
2021 GenISys BEAMER ハンズオンセミナー オンラインを開催いたします。
超高速・超高精細電子線描画装置アドバンテスト社製F7000S-VD02で描画をするためのパターンコンバータとして、GenISys社製のBEAMERが東京大学微細加工プラットフォームで利用できます。
今回、GenISys社の協力を得まして、実際にBEAMERをご自身で操作していただき実際にF7000S-VD02用のBEFファイルを作成するところまでの流れを体験していただきます。
ライセンスの関係で若干名とさせていただきます。
参加費:無料（事前登録制）
Zoomのよる体験型ハンズオンセミナーです。当日直接使い方を教わりたい方からのご参加をお待ちしております。参加者多数の場合は申し訳ありませんが、一部の方は聴講のみになる場合がございます。ご質問がございましたら、下記のD2T寄附講座までお問い合わせください。
講師（予定）:
清水 諭 様 GenISys
肥後 昭男 東京大学d.lab
用意するもの：各自PC
OS：windows10
セミナー内容
本セミナーでは、実際に参加者ご自身のPCにBEAMERの試用版ライセンスをインストールしていただき、zoomで画面を共有して操作をしていただきます。
こちらで用意をしましたGDSファイルを利用して
１、BEAMERの基本操作
２、近接効果補正について（GenISys社製Tracerの操作は今回対象外）
３、アドバンテスト社製F7000S-VD02用BEFファイルへの変換
４、スリービングの方法
までをおこないます。また、ユーザ自ら作成をしたGDSファイルをBEF20ファイルへ変換サポートも時間がありましたらおこなう予定です。
※注意
今回セミナーを通して変換をしたBEFファイルを本学のEB描画装置 F7000S-VD02で描画する場合には、武田スーパークリーンルームの通常利用と同様にBEAMERソフトの利用料金とF7000S-VD02の利用料金の両方がかかります。
申し込み
件名に「BEAMERハンズオンセミナー申し込み」とお書きください。
お名前
会社名・大学名
ご所属
メールアドレス
を記入の上、下記問い合わせ先までメールにてお申し込みをお願いいたします。
参加者には後日、ダウンロードサイトおよびインストール方法について連絡をいたします。
東京大学大学院工学系研究科附属システムデザイン研究センター
アドバンテストD2T寄附講座
基盤デバイス研究部門
問い合わせ
肥後昭男
higo"@"if.t.u-tokyo.ac.jp
東京大学大学院工学系研究科附属システムデザイン研究センター
アドバンテストD2T寄附講座
Tel: +81-3-5841-0233 FAX: +81-3-5841-1093