2023 GenISys BEAMER ハンズオンセミナー Past D2T Special Seminar ONLINE
10月 18日（水） 午後1時 - 2時間程度
武田先端知ビル1階 102セミナー室
言語: 日本語を予定
募集人数：10名程度（事前予約制）
募集期間： ～10月11日までですが、定員に達した場合は事前に締め切らせていただきます。
2023 GenISys BEAMER ハンズオンセミナー を開催いたします。
超高速・超高精細電子線描画装置アドバンテスト社製F7000S-VD02で描画をするためのパターンコンバータとして、GenISys社製のBEAMERが東京大学微細加工プラットフォームで利用できます。
今回、GenISys社の協力を得まして、実際にBEAMERをご自身で操作していただき実際にF7000S-VD02用のBEFファイルを作成するところまでの流れを体験していただきます。
ライセンスの関係で10名程度とさせていただきます。
参加費:無料（事前登録制）
事前に期間限定試用版ライセンスを発行いたします。ご自身のWindows PCを持参してください。
体験型ハンズオンセミナーです。当日直接使い方を教わりたい方からのご参加をお待ちしております。参加者多数の場合は申し訳ありませんが、聴講のみになる場合がございます。ご質問がございましたら、下記のD2T寄附講座までお問い合わせください。
講師（予定）:
清水 諭 様 GenISys
肥後 昭男 東京大学d.lab
用意するもの：各自PC
OS：Windows10 or Windows11
セミナー内容
本セミナーでは、実際に参加者ご自身のPCにBEAMERの試用版ライセンスをインストールしていただき、実際にセミナー室で作業をしていただきます。
こちらで用意をしましたGDSファイルを利用して
１、BEAMERの基本操作
２、近接効果補正について（GenISys社製Tracerの操作は今回対象外）
３、アドバンテスト社製F7000S-VD02用BEFファイルへの変換
４、スリービングの方法
までをおこないます。また、ユーザ自ら作成をしたGDSファイルをBEF20ファイルへ変換サポートも時間がありましたらおこなう予定です。
※注意
今回セミナーを通して変換をしたBEFファイルを本学のEB描画装置 F7000S-VD02で描画する場合には、武田スーパークリーンルームの通常利用と同様にBEAMERソフトの利用料金とF7000S-VD02の利用料金の両方がかかります。
申し込み
東京大学大学院工学系研究科附属システムデザイン研究センター
アドバンテストD2T寄附講座
基盤デバイス研究部門
問い合わせ
肥後昭男
higo"@"if.t.u-tokyo.ac.jp
東京大学大学院工学系研究科附属システムデザイン研究センター
アドバンテストD2T寄附講座
Tel: +81-3-5841-0233 FAX: +81-3-5841-1093